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易度智能是一家專注于高精度氣體流量測控領(lǐng)域的技術(shù)型企業(yè)。易度智能以層流原理為基礎(chǔ),通過持續(xù)創(chuàng)新為半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域提供高性能的氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)及流量計解決方案。其MFC產(chǎn)品具有高精度、快速響應(yīng)時間、寬量程比、多氣體兼容性、穩(wěn)定性和重復(fù)性高等特點,能夠滿足半導(dǎo)體行業(yè)等制造行業(yè)對氣體流量測控的嚴(yán)苛要求?。此外,易度智能建立了從研發(fā)設(shè)計、核心部件制造到整機(jī)組裝的全流程生產(chǎn)體系,確保每臺設(shè)備均通過嚴(yán)格的性能測試與老化驗證,滿足工業(yè)級可靠性要求。同時,...
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半導(dǎo)體行業(yè)對質(zhì)量流量控制器(MassFlowController,MFC)的要求極為嚴(yán)苛,因其直接關(guān)系到芯片制造的良率、工藝穩(wěn)定性及設(shè)備安全性。1.高精度與穩(wěn)定性精度要求:半導(dǎo)體制造中氣體流量的微小偏差可能導(dǎo)致薄膜厚度不均或摻雜濃度異常,因此MFC的精度需達(dá)到±1.0%滿量程(F.S.)甚至更高(易度智能MFC精度可達(dá)到±0.5%S.P.)。重復(fù)性:重復(fù)性誤差不超過±0.2%F.S.,以確保多次工藝的穩(wěn)定輸出(易度智能MFC重復(fù)性可達(dá)...
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當(dāng)我們研究氣體流量計和流量控制器時,理解表壓、絕壓和大氣壓之間的關(guān)系是非常重要的。簡單的解釋一下它們的區(qū)別和在產(chǎn)品測量時的應(yīng)用。大氣壓(AtmosphericPressure)大氣壓是地球表面空氣對物體施加的壓力,它是由地球大氣的重力造成的。它的大小在不同的高度和天氣條件下會有所變化。在海平面,標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓是101.325kPa。大氣壓的作用是我們?nèi)粘I钪兴惺艿降摹翱諝鈮毫Α保拖衲阏驹诘孛嫔?,身體周圍的大氣會對你施加一定的壓力。表壓(GaugePressure)表壓是指...
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在半導(dǎo)體行業(yè)中,對質(zhì)量流量計(MFM)和質(zhì)量流量控制器(MFC)的性能和參數(shù)需求非常高,以滿足精密制造的要求。半導(dǎo)體行業(yè)對質(zhì)量流量計的性能和參數(shù)需求高精度:半導(dǎo)體工藝對氣體流量控制要求很高,通常需要精度達(dá)到±0.5%或更高。小流量測量能力(如sccm,標(biāo)準(zhǔn)毫升/分鐘)是關(guān)鍵,尤其是在沉積、刻蝕等工藝中??焖夙憫?yīng)時間:工藝氣體流量需要快速調(diào)整,響應(yīng)時間通常在毫秒級別,以確保工藝穩(wěn)定性。寬量程比:半導(dǎo)體工藝涉及多種氣體和流量范圍,質(zhì)量流量計需要具備寬量程比(如100...
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易度智能:以層流技術(shù)為核心的氣體流量控制專家在工業(yè)自動化與精密制造領(lǐng)域,氣體流量控制的精度與可靠性是保障生產(chǎn)效能的關(guān)鍵要素。作為國內(nèi)專注氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)及流量計研發(fā)與生產(chǎn)的技術(shù)型企業(yè),易度公司以層流原理為基礎(chǔ),通過持續(xù)創(chuàng)新為半導(dǎo)體、新能源、生物醫(yī)藥、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域提供高性能解決方案,助力客戶實現(xiàn)精細(xì)化生產(chǎn)與高效能管理。一、企業(yè)優(yōu)勢:專注技術(shù)深耕,推動行業(yè)進(jìn)步層流技術(shù)驅(qū)動,實現(xiàn)精準(zhǔn)測量易度公司以層流原理為核心技術(shù)路徑,通過優(yōu)化流體動力學(xué)模型與精密傳感技術(shù),確保氣體流...
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高精度氣體質(zhì)量流量計的正確安裝與調(diào)試方法對于確保其測量準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性至關(guān)重要。以下將詳細(xì)闡述這兩個過程的關(guān)鍵步驟和注意事項。一、正確安裝方法1.選擇合適的安裝位置流量計應(yīng)安裝在遠(yuǎn)離震動源和強(qiáng)電磁場干擾的地方,以減少外部干擾對測量結(jié)果的影響。安裝位置應(yīng)便于操作和觀察,同時確保流體流動穩(wěn)定,避免在管道的彎頭、閥門等流動干擾處安裝。2.檢查流量計和管道在安裝前,檢查流量計的外觀是否完好,確認(rèn)型號、規(guī)格與系統(tǒng)要求相符。清潔管道內(nèi)部,避免雜質(zhì)和污垢影響流量計的性能。3.確定安裝方向根據(jù)...
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一、氣體質(zhì)量流量控制器的維護(hù)保養(yǎng)氣體質(zhì)量流量控制器是一種精密儀器,為確保其長期穩(wěn)定運(yùn)行和測量準(zhǔn)確性,需要進(jìn)行定期的維護(hù)保養(yǎng)。以下是一些關(guān)鍵的維護(hù)保養(yǎng)技巧:定期清潔:使用干凈的軟布或棉簽輕輕擦拭儀器表面和傳感器部分,防止灰塵、油污等雜質(zhì)進(jìn)入儀器內(nèi)部影響其性能。注意避免使用腐蝕性清潔劑。定期拆開設(shè)備內(nèi)部進(jìn)行雜物整理,并檢查是否有受損的零件。檢查連接部位:定期檢查氣體質(zhì)量流量控制器的連接部位,確保連接牢固、無泄漏。如果發(fā)現(xiàn)連接部位松動或泄漏,應(yīng)及時擰緊或更換密封件。管道剛性檢查:檢...
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層流壓差式質(zhì)量流量計(MFC)的氣體兼容性更強(qiáng),主要得益于其工作原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計。1.基于層流壓差原理,無需氣體特性依賴工作原理:層流壓差式MFC通過測量氣體在層流狀態(tài)下的壓差來計算流量。層流狀態(tài)下,氣體流動呈線性,壓差與流量成正比,且與氣體種類無關(guān)。對比熱式MFC:熱式MFC依賴氣體的熱傳導(dǎo)特性(如比熱容、導(dǎo)熱系數(shù))來測量流量,不同氣體的熱特性差異較大,需針對每種氣體進(jìn)行標(biāo)定和轉(zhuǎn)換系數(shù)調(diào)整。而層流壓差式MFC無需考慮氣體熱特性,因此兼容性更強(qiáng)。2.無需轉(zhuǎn)換系數(shù),支持多氣體測量...